Iskani niz je bil najden v IZTOČNICAH:
Überdeckungsfehler in den Strukturen
en pattern mis-registration, pattern misregistration
Überdeckungsübereinstimmung zwischen den Strukturen
en matching overlay between patterns
Überdeckungsübereinstimmung zwischen Strukturen
en matching overlay between patterns
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit der Genauigkeit von 0,1 µm
en superposition of the substrate of patterns from several masks to the precision of 0.1 µm
Überdeckung von Strukturen verschiedener Masken auf einem Substrat mit einer Genauigkeit von 0,1 µm
en superposition of the substrate of patterns from several masks to the precision of 0.1 µm
Übertragung der gewünschten Strukturen auf den Wafer mit hoher Abbildungs- und Formtreue
en high-fidelity transfer of the desired geometries onto the wafer
Verfahren der Übertragung kleinster Strukturen auf die Halbleiterscheibe
en direct-step-on-wafer technique