epitaksíja -e f usmerjena kristalna rast
Angl.: epitaxy
Nem.: Epitaxie f
epitaksija atomske plasti
Angl.: atomic layer epitaxy, ALE
Nem.: Atomschichtepitaxie f
epitaksija z molekulskim curkom metoda počasnega izločanja monokristalov v visokem ali zelo visokem vakuumu, ki omogoča epitaksialno rast plasti, npr. galijevega arzenida s sublimacijo galija in arzena, kar se uporablja npr. za izdelavo polprevodniških laserjev
Angl.: molecular beam epitaxy sin. MBE
Nem.: Molekularstrahl-Kristallaufwachsen n
MET. heteroepitaksija epitaksija na tuji podlagi
Angl.: heteroepitaxy
Nem.: Heteroepitaxie f
MET. homoepitaksija epitaksija na podlagi iz lastne snovi
Angl.: homoepitaxy
Nem.: Homoepitaxie f
Glej:
→ epitaksíjski